江门真空磁控溅射镀膜设备-真空磁控溅射镀膜设备-至成镀膜设备

真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法

随着镀膜技术的快速增长，各种类型的真空镀膜机也开始逐渐出现。但是论起薄膜的均匀性，恐怕所有的真空设备镀制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。

对此，真空镀膜机厂家指出，它的运作原理其实很简单。就是通过真空状态下正交磁场使电子轰击Ar气形成的Ar离子再轰击靶材，靶材离子沉积于工件表面成膜。如此车灯镀膜机厂家就该考虑与膜层厚度的均匀性有关的有真空状态、磁场、Ar气这三个方面。

真空状态就需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空计的存在，要控制好还是不成问题的。

真空镀膜机原理和各部件分析

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用****广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

1、机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用****广泛，本文主要介绍)四种类型。

2、机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有****限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1、0*10-1PA的****限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6、7*10-2帕，甚至更高

3、机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是弹片、定子、转子等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。

磁控溅射镀膜生产线系统设计系统设计的特点

1、生产线采用PLC全过程控制，并配有彩色显示屏，显示镀膜工艺过程参数等；

2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的，生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况，通过通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况，让现场操作工对整个生产流程了若指掌。

3、系统功能丰富：包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。系统组成结构图上位监控系统采用的是通用组态式监控系统，其与下位控制系统的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通讯方式。LG变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱FX2N-PLC来控制，而PLC通过一个扩展的232BD模块与计算机相连。软件系统完成的主要功能

1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程，监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态；

2、记录设备运行过程中产生的实时报警信息；

3、PLC输入、输出点实时监控。总结该系统现场运行情况良好，数据读写速率快，报警功能、设备动作控制等各项功能均达到设计要求，且快速、准确无误，主画面上的动画过程与现场的生产流程配合较好，使用该系统可以非常方便的监控整条生产线的运行。“操作简单，画面精美，软件与设备的通讯性能优越，大大提升系统形象”通用组态式监控系统软件突出性能给予的评价。