掩膜版-微麦光电有限公司(图)

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

在接触式光学微影技术中，光罩表面的遮光图案会与基板上的光阻层接触摩擦，容易使得遮光图案耗损使得光罩使用寿命缩短。另外，当涂布有光阻层的基板表面不是非常平整时，光罩与光阻层会产生不确定的空隙与距离，而造成光线的散射与绕射，进而造成曝i光的尺寸误差，并且造成光阻层浅层部分的侧向曝i光范围扩大，因而无法制作出高深宽比的光阻结构。

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光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像LCD，PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。

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菲林在使用中需注意的事项

每一批次的菲林在投入使用之前，掩膜版，都应进行基本密度测试及网点线性化，而后根据测试结果采取相应的工艺措施，如调整激光焦距、曝i光量、显影定影的温度和时间以实现规范化、科学化生产，****不合格产品产生。