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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电****，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，北京*电容器生产线，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电****的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，*电容器生产线公司，电****材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱安装筹备条件是哪些？

1.整机应安放在温差较小、操作便利的位置，应避免阳光直晒和远离采暖设备，放置平稳;

2.将夹杂气瓶、氮气瓶安放平稳，并分袂装好减压阀(含压力表)，安设在适当位置;

3.接上气路并检查气路，*电容器生产线公司，为****漏气，时可在各接管处用密封胶粘合;

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手套箱故障分析

一、水、氧含量过高

1. 设备的使用方法是否正确，调试期间箱体里面不能放过多的样品，如需放入，建议经过干燥处理；

2. 箱体的密闭性，包括大、小舱的使用以及手套是否在不正确的使用下造成漏气；

3. 温度对水含量有一定的影响，温度过高水含量下降较慢；

4. 活性炭的烘烤不*也会对水造成一定的影响；

5. 再生效果是否正常，*检查净化柱再生过程中的抽真空环节，抽真空要保持2小时以上。

二、氧含量循环时缓慢上升

1. 箱体到风机进气口之间有微量泄漏，通过分段保压法，排除问题；

2. 波纹管可能泄漏；

3. 接头可能泄漏；

4. 净化柱或溶剂柱可能泄漏。

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