真空材料处理-诺思真空(在线咨询)-抚顺真空

用磁控靶源溅射金属和合金很容易，点火和溅射很方便。这是因为靶（阴****），等离子体，和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，真空材料处理，因而难大规模采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，加入反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。

真空袋使用方法：

1、袋子在充气前后都要注意，真空系统集成，不要让锐物刮着，操作时建议在床上或在洁净的桌面上进行，若贮藏的物品中有纽扣、拉链等硬物，请折叠在里面，再放入收藏袋中。在柜子或其它的地方存放时，抚顺真空，也要注意一下存放地点有没有锐物，以保证袋子的完好。

2、衣服、被子等物品应尽量放在袋子里边，至少离封口拉链3-5厘米，大的物品不要强行放入。

3、要保证封口拉链部分的清洁，若有纤维、灰尘进入，会降低密封性能，建议用沾水纱布擦拭干净后再关闭拉链。关闭拉链后请用手握紧滑片在封口处来回多拉几次，确保封口的二根筋完全扣入凹槽，以保证密封效果。

工艺气体，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，****高真空，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，更换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状态。