梅山科技(图)-无油真空泵

梅山科技控股（广东）有限公司介绍香港德信工业股份有限公司-真空泵事业部始建于2007年，是一家集研发、生产、销售、服务为一体的无油微型压缩机、无油真空泵、电子电器产品企业。

电子半导体行业所需应用主要分为三大类：生产用真空（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。不同类型的领域需要不同的真空泵。

生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少，保持工作空间的洁净，主要使用的真空泵类型包括干泵（干式螺杆真空泵、爪式泵、活塞真空泵）和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大，单机功率较小。

清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，此类应用主要采用水环泵和多级离心风机，微型无油真空泵，因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机，真空源是其系统的一部分。

工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，无油真空泵，螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、活塞真空泵都是工艺真空中常见的真空设备。

真空泵在真空系统中所起的作用

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面:

增压泵：增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，供应无油真空泵，用以****抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

超高真空泵：超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。

梅山科技控股（广东）有限公司介绍香港德信工业股份有限公司-真空泵事业部始建于2007年，是一家集研发、生产、销售、服务为一体的无油微型压缩机、无油真空泵、电子电器产品企业。

真空泵选型的注意事项：

1、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，无油真空泵，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

3、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

4、真空泵的价格、运转及维修费用。