电子束镀膜仪品牌- 泰科诺-电子束镀膜仪

电子束蒸发镀膜机

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束镀膜仪

电子束蒸发

电子束蒸发是真空蒸镀的一种方式，它是在钨丝蒸发的基础上发展起来的。电子束是一种高速的电子流。电子束蒸发是目前真空镀膜技术中一种成熟且主要的镀膜方法，它解决了电阻加热方式中膜料与蒸镀源材料直接接触容易互混的问题。

电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的柑涡中，可避免蒸发材料与柑祸壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束镀膜仪，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个增祸，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。 [2]

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电子束蒸发镀膜机旋片泵容易坏怎么办？

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束镀膜仪品牌，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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在电子束蒸发镀膜机的使用过程中，我们如果不注意*。那么就会产生很多不必要的麻烦。这对于整个作业来说都有着较大的影响。电子束蒸发镀膜机旋片泵故障就是其中之一。

电子束蒸发镀膜机产生这个问题的原因可能是灰尘问题，有些真空镀膜设备的接摸过程中会产生大量的灰尘，而这些灰尘被旋片泵抽气过程中随气体进入到了旋片泵里面混杂在泵油中，久而久之就对泵的转子和泵腔造成磨损和*。如果灰尘很多，那么需要使用除尘器配合油过滤系统才行，这样就能保证旋片泵不容易坏的同时，并提升使用寿命；如果灰尘量不是特别多，电子束镀膜仪哪家好，那就只要用油过滤系统滤除掉灰尘就行。

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电子束蒸发使用步骤?

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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电子束蒸发使用步骤?

一、?前期准备工作? 1、?放基片材料（找准对应坩埚位置）。?2、?将样品台和坩埚的两个挡板都挡上。?3、?关门前，检查密封圈是否正常。?4、?将放气和进Ar气口都拧紧。?

二、?抽真空?1、开供电电源 ? 开冷却水（约5min之后） 开真空计 开机械泵 开粗抽阀（先开小 一点，将门压紧后，再全打开）。? 2、真空计压强小于10Pa时，关粗抽阀（屏幕上尾数显示为?0，尾数代表10的几次方）。?3、开电磁阀 开分子泵开关，点击运行（约6min之后，分子泵进入正常工作状态，转数 逐渐*，可达27000r/min）。?4、开步进电机开关，控制转数为10?r/min（通过观察，设置好转数，然后关挡板）。

三、开始镀膜? 1、开E型枪电源，选择手动模式，按回车键确认（电压控制在6KV）。?2、确认屏幕上5个灯全绿。? 3、点击屏幕上灯丝，调灯丝电流0.5A。?4、开气瓶，数值调为0.3左右 开坩埚挡板（屏幕和遥控均可用），关基底挡板。? 5、开高压，观察坩埚内是否有光斑。? 6、调整X、Y位移，使光斑位于坩埚*。调整X、Y幅度，使光斑较大且在坩埚内均匀?7、缓慢*束流（手动遥控****下方中间的“蒸发调节旋钮”），直到观察坩埚内材料表面出现波纹状时停止，此时为坩埚内材料的束流大值。（经验值：钛－束流值77左右）。?8、开膜厚仪，（提前设置好厚度，根据经验找出膜厚的误差范围）。?9、开基底挡板，开始计时。? 10、关基底挡板，计时结束，镀膜完成。?四、镀膜完成，关闭设备?1、缓慢关束流，听到“滴”声关高压 关挡板 关灯丝 关总电源。? 2、降温30min左右3、关高真空闸板阀(顺时针拧，电子束镀膜仪批发，****紧时没有全关，再沿顺时针方向拧，变松即可)。?

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