磁控溅射卷绕镀膜机哪里有-北京泰科诺-磁控溅射卷绕镀膜机
第一枪帮您来“拼单”,更多低价等你来!磁控溅射卷绕镀膜机哪里有-北京泰科诺-磁控溅射卷绕镀膜机
- 名称北京泰科诺科技有限公司 【公司网站】
- 所在地中国
- 联系人 朱经理
-
价格
面议
点此议价
- 采购量 不限制
- 发布日期 2019-03-13 17:42 至 长期有效
磁控溅射卷绕镀膜机哪里有-北京泰科诺-磁控溅射卷绕镀膜机产品详情
磁控溅射镀膜机
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
磁控溅射卷绕镀膜机
磁控溅射
磁控溅射是物理的气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年*展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,磁控溅射卷绕镀膜机哪里有,必须有效地****气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴****表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来****等离子体密度以增加溅射率。
想要了解更多,欢迎拨打图片上的电话吧!!!
磁控溅射中靶*是怎么回事,一般的影响因素是什么?
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
磁控溅射卷绕镀膜机
一:靶面金属化合物的形成。
由金属靶面通过反应溅射工艺形成化合物的过程中,磁控溅射卷绕镀膜机,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子,通常是放热反应,反应生成热必须有传导出去的途径,否则,该化学反应无法继续进行。在真空条件下气体之间不可能进行热传导,所以,化学反应必须在一个固体表面进行。反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。在基片表面生成化合物是我们的目的,在其他结构表面生成化合物是资源的浪费,在靶表面生成化合物一开始是提供化合物原子的源泉,到后来成为不断提供更多化合物原子的障碍。
二:靶*的影响因素
影响靶*的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量就会导致靶*。反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程。如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率,化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下,参与化合物生成的反应气体量增加,化合物生成率增加。如果反应气体量增加过度,磁控溅射卷绕镀膜机哪家好,化合物覆盖面积增加,如果不能及时调整反应气体流量,化合物覆盖面积增加的速率得不到*,溅射沟道将进一步被化合物覆盖,当溅射靶被化合物全部覆盖的时候,靶完全*。
三:靶*现象
(1)正离子堆积:靶*时,靶面形成一层绝缘膜,正离子到达阴****靶面时由于绝缘层的阻挡,不能直接进入阴****靶面,而是堆积在靶面上,容易产生冷场致弧光放电---打弧,使阴****溅射无法进行下去。(2)阳****消失:靶*时,接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜,到达阳****的电子无法进入阳****,形成阳****消失现象。
四:靶*的物理解释
(1)一般情况下,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶*后,靶材表面都是金属化合物,在受到离子轰击之后,释放的二次电子数量增加,****了空间的导通能力,降低了等离子体阻*,导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间,当发生靶*时,溅射电压会显著降低。(2)金属靶材与化合物靶材本来溅射速率就不一样,一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高,所以靶*后溅射速率低。(3)反应溅射气体的溅射效率本来就比惰性气体的溅射效率低,所以反应气体比例增加后,综合溅射速率降低。
想要了解更多,欢迎拨打图片上的电话吧!!!
设备主要优势
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
磁控溅射卷绕镀膜机
设备主要优势
2.1 实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;
2.2 方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;
2.3 高性价比:设备主要零部件采用进口或国内*品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;
2.4 安全性:*开发的PLC 触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、*维护提示等功能,保证了设备的使用安全性能;
想要了解更多,欢迎拨打图片上的电话吧!!!
磁控溅射卷绕镀膜机哪里有-北京泰科诺-磁控溅射卷绕镀膜机由北京泰科诺科技有限公司提供。磁控溅射卷绕镀膜机哪里有-北京泰科诺-磁控溅射卷绕镀膜机是北京泰科诺科技有限公司(www.technol.cn)今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:朱经理。