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磁控溅射法

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

磁控溅射台

磁控溅射法定义是什么?

磁控溅射法是在高真空充入适量的Ar,在阴****(柱状靶或平面靶)和阳****(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使Ar发生电离。Ar离子被阴****加速并轰击阴****靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。

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磁控溅射设备作用

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

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磁控溅射靶在镀膜过程中的重要作用? ??

磁控溅射靶是真空磁控溅射镀膜的核心部件,它的重要作用主要表现在以下两个方面(1)对于大面积表面的镀膜,磁控溅射靶影响着膜层的均匀性与重复性;(2)当膜层材料为*时,靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料),即该*的利用率

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机器运行时的注意事项

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,磁控溅射台,装饰镀膜机,磁控溅射台哪有卖,硬质涂层设备等。

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机器运行时的注意事项

1、保持机器内舱各部位的清洁;

2、关注真空度指标;

3、检查并记录抽真空的时间,如有延长,磁控溅射台出售,立刻检查造成的原因;

4、记录溅射功率和时间(一般溅射机的银靶设定功率为0.6千瓦,金靶的设定功率为0.75千瓦,铬的行走速率为9000pps),如有异常,立刻检查造成的原因;

5、根据镀出石英振子的散差,磁控溅射台哪里有,调整遮挡板的各部尺寸;

6、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度;

7、测试并记录镀好的石英振子主要指标,如:频率、电阻、DLD等;

8、将不良品挑出:电****错位、划伤、脏污、掉银等(工位上要有不良品示意图)。


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企业信息

北京泰科诺科技有限公司
公司认证:
  • 公司地址:中国 北京市昌平区回龙观镇建材城西路87号院8号楼新龙大厦A座12层1218室
  • 注册资本:
  • 企业类型:
  • 主营行业:蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜设备,电子束蒸发镀膜机,CVD设备

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  • 联系人: 朱经理
  • 电话:010-60715199
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