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西门子法是由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利1965年左右实现了工业化。经过几十年的应用和展,西门子法不断完善,先后出现了第i一代、第二代和第三代,第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法,它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺,实现了完全闭环生产,是西门子法生产高纯多晶硅技术的****i新技术,其具体工艺流程如图1所示。硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用。

硅i烷法

硅i烷法是将硅i烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,是硅i烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅。因硅i烷制备方法不同,有日本Komatsu发明的硅化镁法,其具体流程如图2所示、美国Union Carbide发明的歧化法、美国MEMC采用的NaAlH4与SiF4反应方法。





化学性质/多晶硅

灰色金属光泽。密度2.32~2.34。熔点1410℃。沸点2355℃。溶于氢i氟酸和硝i酸的混酸中,不溶于水、硝i酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间,澳晶硅材料生产,室温下质脆,澳晶硅材料报价,切割时易碎裂。加热至800℃以上即有延性,1300℃时显出明显变形。常温下不活泼,高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料作用。具有半导体性质,是****为重要的优良半导体材料,但微量的杂质即可大大影响其导电性。电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。由干燥硅粉与干燥氯i化氢气体在一定条件下氯化,再经冷凝、精馏、还原而得。





一种定向凝固造渣精炼提纯多晶硅的方法

[简介]: 本发明涉及冶金法多晶硅生产中****定向凝固除杂的工艺。其技术方案是:a.预热:对坩埚中的硅料进行缓慢预热,预热真空度达到0.8Pa以下,澳晶硅材料加工,预热温度范围:室温~1200℃,天津澳晶硅材料,预热时间:6~10h,预热中要求完全保温;b.熔化:缓慢充入气至...

一种利用多晶硅铸锭炉进行****定向凝固除杂的工艺

[简介]: 本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种定向凝固及渣滤熔炼提纯多晶硅的设备,设备由炉门及真空炉壁构成真空设备,真空设备的内腔即为真空室,真空室内安装熔炼装置和熔化装置,熔炼装置采用熔炼坩锅安装...





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