电子束蒸镀机-北京泰科诺(在线咨询)-电子束蒸镀机生产厂

电子束蒸发与磁控溅射镀膜的性能分析研究

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，电子束蒸镀机生产商，硬质涂层设备等。

电子束蒸镀机

电子束蒸发与磁控溅射镀膜的性能分析研究

随着科学技术的不断发展，半导体器件的种类不断增多。原始点接触晶体管、合金晶体管、合金扩散晶体管、台面晶体管、硅平面晶体管、TTL集成电路和N沟硅栅平面MOS集成电路等，其制造工艺及工艺之间的各道工序也有所差别。在硅平面晶体管工艺过程中，电****材料的制备技术是一项关键工艺，典型的制备技术主要有两类：一类是电子束蒸发镀膜技术，另一类是磁控溅射镀膜方法。长期以来，在生产实践中由于电了束蒸发与磁控溅射这两种方法制备晶体管微电****各具优势，而且各自采用的设备和工艺不同，因而其产品质量孰优孰次一直存在争论。本文就这一问题展开研究，详细分析了常用电****材料Al通过这两种方法制备成薄膜电****的膜厚控制、附着力、致密性、电导率和折射率等重要性能指标，测试结果分析表明磁控溅射铝膜的综合性能优于电子束蒸发。

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比较激光表面处理技术和电子束表面处理技术的异同点

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸镀机

电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。

顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性。

1.加工原理:电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应，从而实现加工;而激光束加工的机理是热效应。

2.加工装置:电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成;而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。

3.加工特点:

电子束: (1).束径小、能量密度高; (2).非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观 应力和变形; (3).被加工对象范围广; (4).电子束能量高，电子束蒸镀机哪家好，加工速度快、*; (5).电子束加工需要一套*设备和真空系统，价格昂贵。

离子束: (1).加工精度和表面质量高; (2).加工材料广泛; (3).加工方法丰富; (4).性能好，易于实现自动化; (5).应用范围广泛，可根据加工要求选择。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、*; (5).价格昂贵 加工方法:

电子束; (1).电子束扫描*; (2).电子束投影*; (3).电子束表面改性。

离子束: (1).离子束溅射去除加工; (2).离子束溅射镀膜加工; (3).离子束注入加工; (4).离子束*加工。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、*; (5).价格昂贵。

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比较电子束蒸镀优劣

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸镀机

优劣比较电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀大的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，电子束蒸镀机，因此蒸镀的速率也更快；电子束*准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构。

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