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薄膜厚度的测量技巧

随着科技的进步和jin密仪器的应用，薄膜厚度测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度。

常见的直接法测量有：螺旋测微法、jin密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）；

间接测量指根据一定对应的物理关系，将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度，从而达到测量薄膜厚度的目的。

常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类：称量法、电学法、光学法。

常见的称量法有：天平法、石英法、原子数测定法；

常见的电学法有：电阻法、电容法、涡流法；

常见的光学方法有：等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。

下面简单介绍三种：

1. 干涉显微镜法

干涉条纹间距Δ0，真空镀膜，条纹移动Δ，台阶高为t=(Δ/Δ0 )*0.5λ，测出Δ0 和Δ，即可，其中λ为单色光波长，如用白光，λ取 530nm。

2. 称重法

如果薄膜面积A，密度ρ和质量m可以被精que测定的话，膜厚t就可以计算出来：

d=m/Aρ。

3 石英晶体振荡器法

广泛应用于薄膜淀积过程中厚度的实时测量，主要应用于淀积速度，厚度的监测，中堂真空镀膜加工，还可以反过来（与电子技术结合）控制物质蒸发或溅射的速率，从而实现对于淀积过程的自动控制。

对于薄膜制造商而言，产品的厚度均匀性是****重要的指标之一，想要有效地控制材料厚度，厚度测试设备是必不可少的，但是具体要选择哪一类测厚设备还需根据软包材的种类、厂商对厚度均匀性的要求、以及设备的测试范围等因素而定。

光学镀膜

一、 *损膜（硬膜）

无论是无机材料还是有机材料制成的眼镜片，在日常的使用中，由于与灰尘或砂砾（氧化硅）的摩擦都会造成镜片磨损，在镜片表面产生划痕。与玻璃片相比，

有机材料制成的硬性度比较低，更易产生划痕。通过显微镜，我们可以观察到镜片表面的划痕主要分为二种，一是由于砂砾产生的划痕，浅而细小，戴镜者不容易察觉；另一种是由较大砂砾产生的划痕，深且周边粗糙，处于中心区域则会影响视力。

（1）技术特征

1）第yi代*磨损膜技术

*磨损膜始于20世纪70年代初，当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高，而有机镜片则太软所以容易磨损。因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面，形成一层非常硬的*磨损膜，但由于其热胀系数与片基材料的不匹配，很容易脱膜和膜层脆裂，因此*磨损效果不理想。

2）第二代*磨损膜技术

20世纪80年代以后，研究人员从理论上发现磨损产生的机理不仅仅与硬度相关，膜层材料具有“硬度/形变”的双重特性，即有些材料的硬度较高，但变形较小，而有些材料硬度较低，但变形较大。第二代的*磨损膜技术就是通过浸泡工艺法在有机镜片的表面镀上一种硬度高且不易脆裂的材料。

3）第三代*磨损膜技术

第三代的*磨损膜技术是20世纪90年代以后发展起来的，主要是为了解决有机镜片镀上减反射膜层后的*性问题。由于有机镜片片基的硬度和减反射膜层的硬度有很大的差别，新的理论认为在两者之间需要有一层*磨损膜层，使镜片在受到砂砾磨擦时能起缓冲作用，并而不容易产生划痕。第三代*磨损膜层材料的硬度介于减反射膜和镜片片基的硬度之间，中堂真空镀膜工厂，其磨擦系数低且不易脆裂。

4）第四代*磨损膜技术

第四代的*膜技术是采用了硅原子，例如法国依视路公司的帝镀斯（TITUS）加硬液中既含有有机基质，又含有包括硅元素的无机超微粒物，使*磨损膜具备韧性的同时又****了硬度。现代的镀*磨损膜技术****主要的是采用浸泡法，即镜片经过多道清洗后，浸入加硬液中，一定时间后，中堂真空镀膜厂，以一定的速度提起。这一速度与加硬液的黏度有关，并对*磨损膜层的厚度起决定作用。提起后在100 °C左右的烘箱中聚合4－5小时，镀层厚约3－5微米。

（2）测试方法

判断和测试*磨损膜*性的****根本的方法是临床使用，让戴镜者配戴一段时间，然后用显微镜观察并比镜片的磨损情况。当然，这通常是在这一新技术正式推广前所采用的方法，目前我们常用的较迅速、直观的测试方法是：

1）磨砂试验

将镜片置于盛有砂砾的宣传品内（规定了砂砾的粒度和硬度)，在一定的控制下作来回磨擦。结束后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量，并且与标准镜片作比较。

2）钢丝绒试验

用一种规定的钢丝绒，在一定的压力和速度下，在镜片表面上磨擦一珲的次数，然后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量，并且与标准镜片作比较。当然，我们也可以手工操作，对二片镜片用同样的压力磨擦同样的次数，然后用肉眼观察和比较。

上述两种测试方法的结果与戴镜者长期配戴的临床结果比较接近。

3）减反射膜和*磨损膜的关系

镜片表面的减反射膜层是一种非常薄的无机金属氧化物材料（厚度低于1微米），硬且脆。当镀于玻璃镜片上时，由于片基比较硬，砂砾在其上面划过，膜层相对不容易产生划痕；但是减反射膜镀于有机镜片上时，由于片基较软，砂砾在膜层上划过，膜层很容易产生划痕。

因此有机镜片在镀减反射膜前必须要镀*磨损膜，而且两种膜层的硬度必须相匹配。

真空镀膜法是在真空的条件下，将金属和非金属材料加热，当温度超过其沸点时，被加热物以气态急剧蒸发，以直线向四周喷射；当遇到障碍物时即附着积淀于物体表面，形成一层薄膜。

真空镀膜法是在真空的条件下，将金属和非金属材料加热，当温度超过其沸点时，被加热物以气态急剧蒸发，以直线向四周喷射；当遇到障碍物时即附着积淀于物体表面，形成一层薄膜。由于手印与周围物体表面的物理属性不同，附着积淀的物质程度不同，薄膜的薄厚不同，导致色调差别从而显出手印。

　真空镀膜法适用于金属制品、皮革、玻璃、瓷器、本色木、人民bi等物面上油脂、汗液或汗垢混合的无色手印。真空镀膜法的具体操作方法，应按照真空镀膜仪的使用说明书来进行。