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真空磁控溅射镀膜设备-北京泰科诺公司

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真空磁控溅射镀膜设备-北京泰科诺公司

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磁控溅射镀膜机

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,真空磁控溅射镀膜设备多少钱,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

真空磁控溅射镀膜设备

磁控溅射

磁控溅射是物理的气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年*展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地****气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴****表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来****等离子体密度以增加溅射率。


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设备主要优势

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,真空磁控溅射镀膜设备公司,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

真空磁控溅射镀膜设备


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2.1 实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;

2.2 方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,真空磁控溅射镀膜设备出售,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;

2.3 高性价比:设备主要零部件采用进口或国内*品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;

2.4 安全性:*开发的PLC 触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、*维护提示等功能,保证了设备的使用安全性能;



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磁控溅射种类

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

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磁控溅射种类

用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴****),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,真空磁控溅射镀膜设备,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入Ar和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳****,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。其原理是一对靶源互相为阴阳****,从而消除阳****表面氧化或氮化。冷却是一切源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。

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北京泰科诺科技有限公司
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  • 主营行业:蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜设备,电子束蒸发镀膜机,CVD设备

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