诺思【质量到位】(图)-沈阳真空设备厂-沈阳真空设备

溅射技术的成就之一是磁控溅射。由于在磁控溅射中引入了正交电磁场使离化率****到5~6%。于是溅射速率比三级溅射****10倍左右，沈阳真空设备厂家，对许多材料，溅射速率达到了电子束蒸发的水平。

控溅射具有“低温”、“高速”两大特点。

磁控溅射是以磁场来改变电子的运动方向，并束缚和延长电子的运动轨迹，从而****电子对工作气体的电离几率和有效的利用了电子的能量。因此，是正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。

所以磁控溅射具有“低温”“高速”这两大特点。

近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。

目前，沈阳真空设备，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，沈阳真空设备厂，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，沈阳真空设备哪家好，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此，要****油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。分馏目的是使高蒸气压组分的油不进入高真空工作喷嘴（高真空端的喷嘴）；净化目的是使高蒸气压组分的油在工作过程中不断为前级泵所抽除，使油逐渐趋于纯净。