冠测精电(多图)-油介质损耗测试仪供货厂家参数报价

早在1997年，人们就认为在2003年，集成电路工艺中将使用的绝缘材料的介电常数（k值）将达到1.5。然而随着时间的推移，这种乐观的估计被不断更新。

到2003年，国际半导体技术规划（ITRS 2003[7]）给出低介电常数材料在集成电路未来几年的应用，其介电常数范围已经变成2.7~3.1。造*们的预计与现实如此大差异的原因是，在集成电路工艺中，低介电常数材料必须满足诸多条件，例如：足够的机械强度（MECHANICAL strength）以支撑多层连线的架构、高杨氏系数（Young"s modulus）、高击穿电压（breakdown voltagegt;4MV/cm）、低漏电（leakage currentlt;10-9 at 1MV/cm）、高热稳定性（thermal stability gt;450oC）、良好的粘合强度（adhesi*trength）、低吸水性（low moisture uptake）、低薄膜应力（low film stress）、高平坦化能力（planarization）、低热涨系数（coefficie*f thermal expansion）以及与化学机械抛光工艺的兼容性（compatibility with CMP process）等等。能够满足上述特性的低介电常数材料并不容易获得。例如，薄膜的介电常数与热传导系数往往就呈反比关系。因此，低介电常数材料本身的特性就直接影响到工艺集成的难易度。

【北京冠测精电仪器设备有限公司】专注于材料电学性能检测仪器研发10年，为客户提供一站式电学性能检测方案：介电强度测试仪、导体﹨半导体﹨粉体﹨绝缘体电阻率测试仪、介电常数测试仪、耐电弧试验仪、高压漏电起痕试验仪、电线电缆漏电起痕试验仪、阻温函数仪、介电温谱测量系统等

固有误差

≤ 5 ％ ± 满度值的 2 ％（ 200kHz ～ 10MHz ）

≤6％ ± 满度值的2％（10MHz～160MHz）

工作误差

≤7％ ± 满度值的2％ （ 200kHz ～ 10MHz ）

≤8％ ± 满度值的2％（10MHz～160MHz）

电感测量范围

4.5nH ～ 140mH

电容直接测量范围

1 ～ 200pF

主电容调节范围

18 ～ 220pF

主电容调节准确度

120pF 以下 ± 1.2pF ； 120pF 以上 ± 1 ％

信号源频率覆盖范围

100kHz ～ 160MHz

频率分段 （ 虚拟 ）

100 ～ 999.999kHz ，油介质损耗测试仪供货厂家操作指南， 1 ～ 9.99999MHz，10 ～ 99.9999MHz ， 100 ～ 160MHz

频率指示误差

3 × 10 -5 ± 1 个字

产品概述

本仪器是一种****的测量介质损耗（tgδ）和电容容量（Cx）的仪器，测量各种绝缘材料、绝缘套管、绝缘液体、电力电缆、电容器、互感器、变压器等高压设备的介质损耗（tgδ）和电容容量（Cx）。具有操作简单、中文显示、打印、使用方便、无需换算、自带高压，*干扰能力强， 测试时间短等优点。

2、采用变频技术来消除现场50Hz工频干扰，即使在强电磁干扰的环境下也能测得可靠的数据。

3、过流保护功能，在试品短路或击穿时仪器不受损坏