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泰科诺(图)-电子束蒸发沉积生产厂家-电子束蒸发沉积

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电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别?

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

电子束蒸发沉积



两种镀膜原理不同:

电子束蒸发镀膜:利用高能电子束轰击靶材,使材料表面产生很高的温度,由固态直接升华到气态,沉积到工件表面所形成的薄膜,主要运用在光学方面(如:眼镜片的增透膜,CCD镜头,光通讯方面等等)

磁控溅射镀膜:高能离子轰击靶材,使靶材表面原子飞逸出来的过程称溅射,那么采用磁场控制后,溅射出来的原子或二次电子以轮摆线的形式被束缚在靶材表面,使得辉光维持而进行溅射,主要运用在装饰方面(如:钟表,手机外壳等金属表面)



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镀膜室的清理和蒸发材料的安装:

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

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镀膜室的清理和蒸发材料的安装:


3、将操作旋钮旋置于“磁力充气阀”,对钟罩进行充气。

4、待充气完毕后,将旋钮置于“钟罩升”,钟罩将会升起,当钟罩上升到适当位置时,将旋钮置于“关”,钟罩将会停止升起。

5、使钟罩绕立柱旋转移开,小心取下弹簧卡圈以及观察窗内侧玻璃,用钢丝球除去玻璃表面的铝镀层,并用水清洗。玻璃水清洗干净后,电子束蒸发沉积公司,用吹风机吹干。吹风机应使用冷风,且倾斜着对着玻璃,****损坏吹风机和玻璃。将吹干后的玻璃安装在观察窗内侧,并用弹簧卡圈固定。

6、清理镀膜室,将镀膜用的玻片用胶带粘贴在支架上,并将蒸发材料(本次实验蒸发材料为铝片)螺旋缠绕在编号为3、4处的钨丝上,再旋转挡板挡住蒸发源。

7、将旋钮置于“钟罩降”,使钟罩能与底座对齐完全密封。下降过程中要****钟罩不正与支架等发生相碰、刮擦,且注意手不会被压伤。钟罩下降后,将旋钮置于“关”。

抽真空:

8、旋钮置于“机械泵”,并打开复合真空计,电子束蒸发沉积品牌,拉低阀使用“测量2”接通低真空测量监测钟罩内的气压变化,等待指针半偏,即真空镀膜机内压强下降到5Pa。

9、将旋钮置于“轰击”,接通轰击电路,将轰击电流调至200mA,轰击2分钟,并使用“测量1”检测压强变化。轰击使得室内分子电离,气压先升高后降低,透过观察室内观察可见室内呈紫色,有白点闪过。

10、轰击2分钟后,将电流调至0mA,并将旋钮置于“机械泵、扩散泵”,同时水笼头通冷却水,推低阀使用“测量2”,预热30分钟后开高阀。

11、待指针满偏到达0.1Pa后,切换量程接通高真空测量。过10分钟后,打开灯丝电源,待气压达到2×10-2Pa即可开始镀膜。

镀膜:

12、镀膜开始,接通蒸发源电****,旋钮置于“烘烤蒸发”,调节蒸发电压使得电流达到80A。蒸发时可根据钨丝的色温改变电流值的大小,且由于蒸发时钨丝温度升高电阻值升高,应不断调节保证电流值不变。

13、透过观测窗,当发现铝片开始熔化时旋转移开挡板,使铝蒸发上去。待钨丝上有黑色残留(氧化铝)时,旋转挡板挡住蒸发源,并降低电压使得电流变为0A。

14、接通另一蒸发源电****,重复步骤12、13。蒸发结束后,关蒸发,旋钮置于“机械泵”。



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真空镀膜机的发展前景如何?

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,电子束蒸发沉积,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。

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镀膜机分多种类,电子束蒸发沉积生产厂家,蒸发式,溅射式,还很多特殊用途的。

现在来讲,光学镀膜主流为电子束加热蒸发式,其性能参数和蒸发仓,蒸发源,真空形成系统,控制系统的精度直接相关,

溅射式,多用在平板玻璃光学膜装饰膜,现在镜片也有用此的趋势,我见过的不多,有昭和的,shincron的。都比较****市价1000万以上。

发展前景,目前感觉还会在蒸发式上。性价比比较高,而且容易控制品质。如

需求量的话,低中档应该还有增加,且比较看好,毕竟国内光学行业还在发展阶段



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