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真空设备无论大小都属于精密机械设备,这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则,不能蛮干,一定不能用大锤去敲。清洗零件时要干净,*,遵义真空,以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别,微光夜视真空系统,一般机械产品多倒楞倒角,而真空泵的楞角分明,很易伤手应多加小心,切记。千万别把楞角倒去。检验是个细致活,每个细节都不要落掉,任何细微的地方都可能是问题所在,所以不能存在侥幸心理。







电子束可以很容易的做到几千瓦级的输出,而激光器的一般输出功率在1 kW~5 kW之间。电子束加工的功率能达到激光的数倍,其连续热源功率密度比激光高很多,可达1×107 W/mm2。同时比起激光15%的能量利用率,电子束的能量利用率要高很多,可达到75%。


激光在理论上光斑直径可达1 nm,微光夜视真空系统,但在实际应用中一般达不到。而电子束则可以通过调节聚束透镜的电流来对焦,束径可以达到0.1 nm。因而可以作到****细的聚焦。加工出的产品粒度高,微光夜视真空系统,纯度*更优越。


溅射技术的成就之一是磁控溅射。由于在磁控溅射中引入了正交电磁场使离化率****到5~6%。于是溅射速率比三级溅射****10倍左右,对许多材料,溅射速率达到了电子束蒸发的水平。

控溅射具有“低温”、“高速”两大特点。


磁控溅射是以磁场来改变电子的运动方向,并束缚和延长电子的运动轨迹,从而****电子对工作气体的电离几率和有效的利用了电子的能量。因此,是正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。


所以磁控溅射具有“低温”“高速”这两大特点。


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