半导体净化车间-谷能净化科技有限公司-贵港净化车间

　降低洁净室的热（冷）负荷的技术措施

①根据产品生产工艺要求，确定合适的洁净室内空气洁净度等级和温度、相对湿度参数，贵港净化车间，在满足生产工艺的前提下，从节约能源的角度出发，按不同工序房}间的不同要求确定空气洁净度等级、温度、相对湿度参数，可能就低时尽可能采用较低的取值。 洁净厂房设计时，应与业主、产品生产工艺技术提供者充分交流，反复讨论比较，合理进行洁净分区规划，尽可能地减少洁净室面积或减少高2级别类洁净室的面积，这是降低洁净厂房的热（冷）负荷的有效途径。

顺序地、无选择地逐粒进行量测，遇尘粒的长径则测其 长径，遇短径则测其短径。这里的长径和短径叫做定方向切线径，也称随遇直径，当被测微粒足够多时，结果能正确反映样本尘粒的平均断面。这样，对测定比较方便。但是也有规定只取投影****1大线距为微粒直径的，例如美国早年关于洁净室的几个标准就是如此。显然，这就必须在测定时旋转测微尺，而且也不可能精1确确定****1大线距位置，所以日本的“洁净室中悬浮微粒测定法”（工业标准JIS）就说明不必旋转测微尺，而只要估测投影****1大径，并认为引起的误差很小。对于正方体也有采用对角线为其粒径的，那就要以√3乘以边长；如投影为矩形，可以取长短 边之平均值，也可以仍以短边为准，换算成对角线粒径，下面讲到氯化钠微粒，因其晶体投影一般为方形，即用对角线法确定粒径。

（1）净化工程灭菌原理：利用机械抽真空的方法，激光工业净化车间，使灭菌柜室内形成负压，蒸汽得以迅速穿透到物品内部进行灭菌。蒸汽压力达205.8kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃或以上，开始灭菌，机械加工净化车间，到达灭菌时间后，抽真空使灭菌物品迅速干燥。根据一次性或多次抽真空的不同，分为预真空和脉动真空二种，后者因多次抽真空，空气排除更*，效果更可靠。

（2）灭菌方法：

1）预真空压力蒸汽灭菌方法：预真空压力蒸汽灭菌整个过程约需25min。

①将待灭菌的物品放入灭菌柜内，关好柜门；

②将蒸汽通入夹层，半导体净化车间，使压力达107.8kPa(1.1kg/cm2)，预热4min；

③启动真空泵，抽除柜室内空气使压力达2.0 kPa～2.7 kPa(排除柜室内空气98%左右)；

④停止抽气，向柜室内输入饱和蒸汽，使柜内压力达205.8 kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃，维持灭菌时间4min；

⑤停止输入蒸汽，再次抽真空使压力达8.0kPa，使灭菌物品迅速干燥；

⑥通入过滤后的洁净干燥空气，使灭菌室压力回复为零，温度降至60℃以下，即可开门取出物品。