超高真空电子束蒸发、天成【稳健*】、西双版纳真空

气体及控制系统。

*气是进行磁控溅射时应用****广泛的气体。在溅射时，*气的多少直接关系到溅射速率以及溅射的均匀性等，超高真空电子束蒸发，因此需要严格控制气体的进气量，一般用质量流量计来实现控制。

溅射功率的增加会****膜厚的均匀性、溅射速率，随着溅射功率的增加，等离子体的面积增大，因此膜层的均匀性会****。功率的*，能*****气的电离度，*溅射出的靶材原子数量，从而****了溅射速率。

泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此，要****油扩散泵的抽气和真空性能，西双版纳真空，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。分馏目的是使高蒸气压组分的油不进入高真空工作喷嘴（高真空端的喷嘴）；净化目的是使高蒸气压组分的油在工作过程中不断为前级泵所抽除，使油逐渐趋于纯净。

低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，超高真空电子束蒸发，其平衡压力基本*于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。