东莞永和胜机电设备-里其乐真空泵VCB20

真空泵在半导体制造业中的运用

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和高l级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高l级真空泵抽气.高l级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高l级和超高l级真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，里其乐真空泵VCB20供应，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

永和胜机电在东莞设有****维修工厂，为客户24小时提供所有销售产品的技术支持及售后服务，公司拥有各干式真空泵、油式旋片真空泵、无油式旋片真空泵、滑阀式真空泵、活塞式真空泵、爪式干式真空泵、多级罗茨真空泵、螺杆干式真空泵、罗茨真空泵、涡旋真空泵等真空泵类型的维修*技术、各类治具和必要的部品，能应客户要求，对客户工厂设置的真空机器、设备提供定期维修*服务。欢迎来电咨询

真空泵引水时间的因素，得出了引水时间与引水泵流量的关系，建立了往复式真空泵引水数学模型，里其乐真空泵VCB20销售，推导了往复式真空泵引水时间的估算公式。估算公式是按照标准大气压推导出来的，里其乐真空泵VCB20，当试验气压不是1个标准大气压时，应对估算公式进行修正，当估算公式中高度变量在（7-D/2.7）范围内时，引水时间的计算不适用该公式，但是，由于（7-D/2）~7高度相对很小，而且此时离心泵也具有一定的排气作用，里其乐真空泵VCB20厂，所以这一过程时间很短，对总体计算结果影响不大。3种往复式真空泵引水时间试验的结果表明，用该估算公式计算的结果与实测数据基本吻合，误差不足4%，因此，该估算公式的推导是成功的，对更准确地确定引水泵参数，设计出合理的往复式真空泵有实用意义。

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莱宝真空泵中除去水垢的方法及对真空系统性能的影响

化学除垢法是通过在真空泵内注入化学除垢剂，使之与泵内水垢进行化学反应而除垢的。这种方法虽然简单，但是效果并不好。这是因为，首先要对泵内水垢进行取样化验，根据水垢成分选择合适的除垢剂，再就是在水垢过厚的情况下很难凑效。还有很多厂家*使用稀酸煮沸15~60min进行除垢，虽然效果较好，但是普通材质及未作防腐处理的真空泵的内部构件将受到严重腐蚀，间隙*，缩短了使用寿命。

由于结垢后的真空泵抽气速率下降，因此在一定程度上增加了生产成本，影响了生产的正常进行。因此，如何****真空泵结垢，维持真空泵持续****运行，是各使用厂家等待解决的问题，而闭式循环机组可以在不增加电机功率的前提下解决这一问题。