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电子束蒸发器镀膜机的维修技巧　

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，电子束蒸发镀膜系统多少钱一台，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸发镀膜系统

电子束蒸发器镀膜机的维修技巧　　

电子蒸发束镀膜机在使用的过程中因为自身设备的特点可能会出现或大或小的故障问题，****常见到的故障大多是由电路短路、镀膜材料的残渣等原因。

1、真空的腔体内有焦糊味

设备在使用中，从真空腔体内发出焦糊味，要判断的是零件时候有发生损坏或者被烧毁，如果在排查后发现零件没有任何的异常或者损坏，那么工作人员就需要对设备进行逐步的排查，在维修的过程中需要对腔体采用排除的方法进行检测，电子蒸发源是整个系统的主要的结构，也是排查问题的时候****需要检测的位置。

2、电子枪无法正常的工作

由于电子束是依靠电子枪产生的，如果电子枪无法正常的工作会影响到整台设备的正常工作。需要确定的是高压电缆线的连接部位是否正常，如果正常的情况的话，就需要查看周围的环境是否比较的潮湿，潮湿的环境有可能会造成电路的短路，电子束蒸发镀膜系统多少钱一台，容易造成设备出现故障问题。

3、电子束流不能正常的加载

出现这种故障有可能是电****或者电****或者是调压器内部有积炭或有短路现象，它在低电流时还正常，但把电流升到一定的数值时就击穿，就会出现跳断路器的现象，表面上有时发现不了，好用兆欧表对地摇一摇

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请教关于磁控溅射镀膜和电子束镀膜的区别

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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这两个虽然都属于PVD，实际区别太大了，几乎没法比较，均匀性溅镀好，电子束蒸发镀膜系统，致密性溅镀好，沉积速率貌似是蒸镀高，具体建议楼主找相关书籍阅读。

一般蒸镀慢，附着力和致密性较溅镀差，电子束蒸发镀膜系统多少钱一台，颗粒尺寸较小，均匀性就看设备怎样了

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比较电子束蒸镀优劣

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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优劣比较电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀大的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，因此蒸镀的速率也更快；电子束*准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构。

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