真空系统集成-明胜机电-太原真空系统

真空系统订制与搭建要素--明胜真空机械****厂家

1、真空度： 真空系统应当使被抽容器中能达到工艺过程所要求的真空度，并其有较高的****限真空。为此，真空系统 应有较好的密封性能，放气源要少，放气和漏气率要小，真空泵的抽速要足以能维持工作室内所需的真 空度。在真空设备中，工作真空度的高低将直接形响真空工艺的质皿，而它又紧密依核于真空系统的形 式、真空泵的选择及抽气系统的设计。空度的要求。

2、抽气速率： 真空系统应保证被抽容器内能维持必要的真空度而需要的抽速，取决于被抽容器的体积及漏气、放气和 真空元件的通导能力等。因此，必描选择合适的导管、阀门和连接方式。在真空系统中，导管、阁门、 挡板等的流导是有限制的，它们的存在总要降低泵的有效抽速。一般希望泵的有效抽速能达到20-60%， 以保证泵在较短时间内使工作室达到所播真空度。

3、抽出介质： 真空系统在所抽出的物体中有没有腐蚀性气体，有无水气、有无粉尘与粒颗。系统组件的配攀应合理，真空系统集成， 抽气时间短，生产率高，真空系统改造，有较好的经济效益.几种抽气系统的方案，太原真空系统，它们分别在不同的条件下采用。**** 生产效率，又能合理达到客户的需求。

油式旋片真空泵主要优点：

1.易于安装及*

2.油镜视窗大，便于确认油污染状况

3.直接驱动，贴片机真空系统，免皮带.齿轮松弛或损耗

4.高抽速，真空度稳定，噪音小，震动低

5.空气冷却，散热效果好，螺栓固定泵浦

6.内置油雾分离器，有效避免油气制程污染，洁净环境

7.泵带气镇阀装置，可过滤一定量水蒸气与可凝性气体，寿命长

8.进气口装有逆止阀，当泵停止时，逆止阀能有效避免油气逆流

用途：

主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。

(1)真空加压系统的优点是集成度高、重量轻、结构紧凑，可为空间实验项目提供正压、负压、以及正压负压交替的实验环境；

(2)一个实验腔体包含真空腔和压力腔双重作用，减少了系统部件的数量，拓展了功能，使实验满足从4×105 Pa～10-5 Pa超宽压力范围的不同需求；

(3)充分利用空间环境，省去了不必要的冗余设备，降低了系统的复杂程度从而****其可靠性，节约了空间资源和在轨运行成本。