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选择真空系统主泵

一、根据真空室所需要建立的****限压力确定主泵的类型。

一般主泵****限压力的选取要比真空室的****限压力低半个到一个数量级。

二、根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。

真空泵选型中选择主泵的时候应正确地选择主泵的工作工艺环境，在其工作压力范围内，应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此，真空泵哪家做的好，真空室内的工作压力一定要在主泵的抽速压力范围之内。

三、根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选择主泵。

真空泵选型中，真空室体积大小对系统抽到****限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。

四、正确地组合真空泵。

因为各种真空泵的性能不同，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

五、若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

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正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，河源真空泵，需要几种泵组合起来，真空泵，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三****型溅射离子泵，（或二****型非对称阴****溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

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压缩机用油包括空压机油、真空泵油、冷冻机油和气体（指除空气和制冷剂以外的气体）压缩机油。各品种划分的依据如下：

1)空压机油根据空压机类型、载荷（排气压力、排气温度、锻压力比等）和油的组成。

2)真空泵油按泵的类型、真空状态和有无腐蚀性气体。

3)冷冻机油根据蒸发器工作温度、制冷剂和冷冻机类型以及油的组成。

4)气体压缩机油按压缩机类型、压缩介质和油的组成。

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