北京泰科诺、磁控溅射镀膜设备、磁控溅射镀膜设备厂家
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- 名称北京泰科诺科技有限公司 【公司网站】
- 所在地中国
- 联系人 朱经理
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价格
面议
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- 采购量 不限制
- 发布日期 2018-11-07 11:09 至 长期有效
北京泰科诺、磁控溅射镀膜设备、磁控溅射镀膜设备厂家产品详情
北京泰科诺科技有限公司成立于2003年,多年来专注于真空镀膜设备及工艺的研发、制造、销售和服务。专为各大高校、科研院所和生产企业服务,产品主要包含热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发镀膜机、多弧离子溅射镀膜机、热丝CVD设备、装饰镀膜机、DLC硬质涂层设备等等。目前有超1000台设备运转,磁控溅射镀膜设备厂家,产品遍布全国各地(含港澳台),远销至美国、澳大利亚、土耳其、马来西亚等国,深受用户好评。
磁控溅射镀膜设备 Magnetron Sputtering System
产品特点 Product Features: 1. 工艺成熟,性能稳定,使用维护成本低; 2. 功能强大,可实现单靶溅射、多靶依次溅射、共同溅射等; 3. 选择多样化,可单独、与手套箱集成、带进样室使用; 4. 适用范围:制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、磁性膜、传感器膜及耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀膜等;镀膜示例:银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等。
磁控溅射镀膜机
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
磁控溅射镀膜设备
磁控溅射镀膜机
铟锡氧化物( Indium Tin Oxide ,简称ITO) 薄膜是一种用途广泛的透明导电材料,已成熟的应用于电机车挡风玻璃、液晶显示器件、太阳能电池、全息照相和液晶彩色电视等,蓄势待发的应用领域为有机发光二****管显示器(Organic Light-Emitting Diode ,磁控溅射镀膜设备,简称OLED) 。从应用角度出发,通常要求ITO 薄膜的成份是In2O3 和SnO2 ,薄膜中铟锡低价化合物愈少愈好。ITO 薄膜的制备方法很多,如喷涂、蒸发、射频溅射和磁控溅射等。随着液晶显示器技术向高精细化和大型化发展,磁控溅射法备受欢迎。
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直流磁控溅射技术
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
磁控溅射镀膜设备
直流磁控溅射技术
为了解决阴****溅射的缺陷,人们在20世纪开发出了直流磁控溅射技术,它有效地克服了阴****溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,因而获得了迅速发展和广泛应用。其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度*,从而磁控溅射速率得到很大的****,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也****了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上****薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳****时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。该方法的缺点是不能制备绝缘体膜,而且磁控电****中采用的不均匀磁场会使靶材产生显著的不均匀刻蚀,导致靶材利用率低,一般仅为20%-30%。
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