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激光干涉仪环境因素的影响

一、影响因素:

(1)空气温度:1℃

(2)空气压力:0.3kPa

(3)相对湿度:30%

特别是振动对测量的影响是非常大的,振动可能导致测量数据的分散,明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。


二、减少及消除的方法

测量尽量在恒温车间进行,以保持环境温度的相对稳定;尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯,以减少热源;在夏季,为了减少激光器的发热,可用电风扇对其进行散热和降温,以延长激光器的使用时间。




双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以*干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、*三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,合肥激光干涉仪,还可进行*直线度测量、平面度测量和小角度测量。



激光干涉仪的开发,给机床工业提供了*的标准,适用于各种型号和规格的机床。

使用激光干涉仪测量,必须要考虑到的误差源:

一、 环境误差。激光干涉仪的绝1对精度取决于周围条件的精1确程度(或者说环境的稳定程度)。环境温度每产生1℃的变化,绝1对压力每产生2.5mmHg或相对湿度每产生30%的误差时,都将会导致约1PPM(百万分子一)的测量误差。这些误差利用人工补偿或激光干涉仪所配的自动补偿装置可部分克服。因此检测期间保持这些条件的稳定非常重要。

二、 机床表面温度。即机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠*滑鞍的机床,激光干涉仪,丝杠理论热膨胀系数为10.8PPM/℃,即温度每升高1℃,他将膨胀近10.8微米/米。



滁州激光干涉仪_激光干涉仪_合肥迈思瑞由合肥迈思瑞仪器仪表有限公司提供。合肥迈思瑞仪器仪表有限公司(www.maisirui*)为客户提供“激光干涉仪,轮廓仪,3D轮廓测量仪,红外热像仪”等业务,公司拥有“迈思瑞”等品牌。专注于其它等行业,在安徽 合肥 有较高*度。欢迎来电垂询,联系人:尚经理。同时本公司(www.ahlkycj*)还是****从事合肥轮廓仪,芜湖轮廓仪,安徽轮廓仪的厂家,欢迎来电咨询。

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