永和胜机电设备、里其乐真空泵VC150厂家

真空泵进行拆洗步骤为：

(1)切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

(2)用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境；

(3)卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

(4)先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等；

(5)将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等；

(6)取下视镜、排气阀、排气盖等；

(7)将所拆下的金属零件用汽油*清洗干净，里其乐真空泵VC150厂家，并用酒精脱水。橡胶零件可用15%的氢氟l化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件.可用油石或金相砂纸轻轻地研磨，里其乐真空泵VC150厂家，以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干。

真空泵在半导体制造业中的运用

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和高l级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高l级真空泵抽气.高l级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高l级和超高l级真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，里其乐真空泵VC150，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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莱宝真空泵中除去水垢的方法及对真空系统性能的影响

真空泵中的水垢成分很复杂，硬度也不一样。根据成分不同水垢可分为硅酸盐水垢、碳酸盐水垢及*盐水垢。其中硅酸盐的水垢****硬，难以清除，碳酸盐的水垢较松，而*盐水垢则介于两者之间。由于水垢成分复杂，里其乐真空泵VC150厂家，所以简单地用一种或几种*很难除去。目前处理水垢的方法主要有两种，即机械除垢法和化学除垢法。

机械除垢法是一种对各种水垢都****为有效的方法，主要通过人工利用工具清除水垢，但是工作量大，必须对整机进行拆卸，****l好与纸机的有计划停机和泵的大修同时进行。