金属靶材厂_金鑫得新材料_珠海金属靶材

广东金鑫得新材料有限公司是以****的HPS真空热压烧结系统为装备基础，致力于合金新材料研制、开发、生产及应用和相关技术服务的高新科技企业。

靶材的性能要求

靶材制约着溅镀薄膜的物理、力学性能，影响镀膜质量，珠海金属靶材，因而靶材质量评价较为严格，

主要应满足如下要求；

1）杂质含量低，纯度高。靶材的纯度影响薄膜的均匀性

2）高致密度。高致密度靶材具有导电、导热性好、强度高等优点，使用这种靶材镀膜，溅射功率小，成膜速率高，薄膜不易开裂，靶材使用寿命长，金属靶材价格，而且溅镀薄膜的电阻率低，透光率高。

3）成分与*结构均匀。靶材成分均匀是镀膜质量稳定的重要保证。

4）晶粒尺寸细小。靶的晶粒尺寸越细小，溅镀薄膜的厚度分布越均匀，溅射速率越快。正因为靶材在性能上有上述诸多特殊要求，导致其制备工艺较为复杂。

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靶材绑定及衬管质量对大面积镀膜的影响

导热导电不均匀会引起靶材溅射不均匀(成膜不均匀)，金属靶材厂，表面结瘤和放电现象也会引起成膜不均匀，膜层颜色出现差异，对介质层变化影响感的三银产品差异更为明显，使镀膜废品率升高。因此，靶材的绑定质量对其使用有着很大的影响。而对于一些导热良好不需要绑定的金属或合金旋转靶，如ZnAl、ZnSn、SiAl靶等，由于靶材材料与不锈钢管热膨胀系数物质在热胀冷缩效应作用之下，几何尺寸随着温度的变化而发生变化的规律性系数)存在差异，也需要使用某种连接材料进行粘结。如果结合不好，也会出现靶材受热不均，导热受阻，出现开裂脱落的现象，金属靶材供应，从而影响镀膜产品的质量和生产。

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国内靶材的主要研究单位及国内外主要生产商

对国内研究单位的详细掌握，可以寻求恰当的技术合作伙伴。我国大学和研究所已经开发岁的许多种类靶材并没有见诸干市场，如北京工业大学研制的复合梯度靶，清华大学和西南交通大学研制的铝掺杂氢化锌陶瓷靶材等，即靶材产品研发和市场严重脱节。