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PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，大口径石英坩埚，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用，大口径石英坩埚质量好， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。

光学石英玻璃特性

01）远紫外光学石英玻璃（JGS1），含有大量的羟基（2000ppm），具有优良的透紫外性能，特别是在短波紫外区，其透过性能远远地胜过所有其他玻璃，在185μm处的透过率可达90％，合成石英玻璃在2730nm处具有很强的吸收峰，大口径石英坩埚质量好，无颗粒结构。是185—2500mμ波段范围内的优良光学材料。

2）紫外光学石英玻璃（JGS2），含有几十ppm的金属杂质。在2730nm处有吸收峰（羟基含量100-200ppm），有条纹和颗粒结构。它是透过220—2500μm波段范围内的良好材料。

3）红外光学石英玻璃(JGS3)含有几十ppm的金属杂质。有小气泡，颗粒结构和条纹，几乎不含（OH），大口径石英坩埚质量好，具有较高的透红外性能，透过率高达85％以上，其应用波段范围260—3500μm的光学材料。

一种通过含硅原始成分的火焰水解来制造石英玻璃管的方法，该方法包括以下步骤：

把该原始成分供给一个借此制造出含SiO2颗粒的沉积燃烧炉，这些颗粒被沉积在一个绕其纵轴线旋转的载体上并形成一个具有多孔烟灰壁的烟灰管，所述烟灰壁具有预定的径向烟灰密度分布，该烟灰管在含lv气氛中被处理并且经过处理的烟灰管被玻璃化，其特征在于，在该烟灰壁的一个内部区域里调节出一个至少是石英玻璃密度的25％的较高的密度，在该烟灰壁的一个外部区域里调节出一个较低的密度并且在一个邻接该内部区域的过渡区域内调节出向着该外部区域减小的密度，其中，该过渡区域分布在该烟灰壁厚度的至少75％的范围里。