镀层测试仪_测厚仪_电镀测厚仪

性能优势

精密的三维移动平台

****的样品观测系统

****的图像识别

轻松实现深槽样品的检测

四种微孔聚焦准直器，镀层测厚仪，自动切换

双重保护措施，实现无缝防撞

采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，****测试精度

全自动智能控制方式，一键式操作!

开机自动退出自检、复位

开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样

关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦

直接点击全景或局部景图像选取测试点

点击软件界面测试按钮，自动完成测试并显示测试结果

下照式设计：可以快速方便地*对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

接收：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

精密微型滑轨：快速*****样品。

EFP****算法软件：多层多元素，镀层测试仪，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。

测试面积是测厚仪器的一项很重要的参数，测厚仪，主要由准直器控制组成，但也受其它条件限制：

1、受高压、光管限制，因为需要这两装置提供足够荧光强度和聚焦。

2、受仪器结构限制，相同的准直器因安装的位置及与探测器的角度都影响测量面积，同样是直径0.2mm准直器Thick800A测量面积达到直径0.4mm，EDX1800B测量面积达到直径0.5mm，CMI900测量面积达到0.3mm，而XTU-A面积可以达到0.218.