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真空镀膜机化学成分

化学成分

薄膜均匀性概念1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，实验室真空镀膜装置厂家*，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，实验室真空镀膜装置厂家*，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。3.晶格有序度的均匀性： 这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，具体见下。

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浅析真空镀膜机检漏方法

真空镀膜机厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。

真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中，需求注意一些问题，才能把检漏作业做好。

1.，要承认漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体，有也许误以为是从外部流进的气体，这即是虚漏，要扫除这种状况。

2，测验好真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。

3，查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，实验室真空镀膜装置厂家*，制备出可处理方案并施行。

4，断定检查仪器的可检漏率和检漏灵敏性，以大规模的检查出漏气状况，****一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。

6，掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻掌握好，确保检漏仪器作业到位，时刻少了，检漏作用必定差，时刻长了，糟蹋检漏气体和人工电费。

7，还要****漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。

为真空镀膜设备做好检漏作业是很主要的，形成真空度降低的缘由多种多样，咱们要逐个的处理这些缘由，安稳镀膜的作用。实验室真空镀膜装置

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真空镀膜机操作程序

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。② 打开总电源开关，设备送电。③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。⑤ 落下钟罩。⑥ 启动抽真空机械泵。⑦ 开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，实验室真空镀膜装置，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。? 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。? 旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。? 旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。? 旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。? 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。? 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。? 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电****分配孔内（设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。? 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。d. 右手旋转调压器手轮回零位。*次蒸镀工作完成。21. 如果再想蒸镀一次（为了增加电****金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电****分配孔。重复?操作动作。22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 （原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。25. 落钟罩。开机械泵。a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。f. 由?开始重复操作至? 。26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。a. 落下钟罩。b. 开机械泵，抽3~5min，停机械泵。c. 切断供电总开关。d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。实验室真空镀膜装置

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