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面对多品种、小批量的生产特点和设备利用率偏低的客观事实,真空设备制造企业应在采用更科学的生产*形式的基础上,加强设备综合管理及日常维修*,超高真空电子束蒸发,在采用设备状态监测、故障诊断等技术的基础上,坚持以状态维修为主的维修方式,努力缩短停修时间,****设备利用率。






不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件,一定要等到汽油或溶剂*挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会*其性能,影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净,仔细检查有无缺陷和裂纹,尺寸是否正确,尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈,真空薄膜,每次拆卸清洗时必须换,比如油增压泵各个接口,装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用力要均,真空系统集成,要从对角紧起。



溅射技术的成就之一是磁控溅射。由于在磁控溅射中引入了正交电磁场使离化率****到5~6%。于是溅射速率比三级溅射****10倍左右,对许多材料,溅射速率达到了电子束蒸发的水平。

控溅射具有“低温”、“高速”两大特点。


磁控溅射是以磁场来改变电子的运动方向,并束缚和延长电子的运动轨迹,从而****电子对工作气体的电离几率和有效的利用了电子的能量。因此,是正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。


所以磁控溅射具有“低温”“高速”这两大特点。


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