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波长色散型X射线荧光光谱仪的前面部分和能量色散型X射线荧光光谱仪是一样的,测厚仪,*管激发样品,检测器测量来自样品的射线,但波长色散型X射线荧光光谱仪的检测器和能量色散型X射线荧光光谱仪的检测器不同。波长色散型X射线荧光光谱仪的计策系统由一套准直器,衍射晶体和探测器组成,来自样品的特征谱线照射到镜头上,晶体将不同波长(能量)的谱线衍射到不同的方向,(相当于棱镜将复合光分解成不同的单色光),将检测器放置在一定的角度,就可测量某一波长的谱线强度。将分光晶体和探测器装在测角仪上,使它在一定角度范围内转动,膜厚测试仪测厚仪,一次测量不同波长长谱线的强度,使用这种形式的光谱仪称为顺序扫描式光谱仪。安装固定检测系统的称为同时式光谱仪,电镀膜厚仪测厚仪,每一套检测系统都有自己的晶体和探测器,分别测量某一特定元素的谱线,各谱线的强度同时被测量,这就很容易理解为什么称它为固定道波长色散型光谱仪,另外也有固定式和转动式结合的仪器。X射线波长色散型光谱仪一般有光源(X-射线管)、样品室

分光晶体和检测系统等组成。







测试面积是测厚仪器的一项很重要的参数,主要由准直器控制组成,X-RAY测厚仪,但也受其它条件限制:

1、受高压、光管限制,因为需要这两装置提供足够荧光强度和聚焦。

2、受仪器结构限制,相同的准直器因安装的位置及与探测器的角度都影响测量面积,同样是直径0.2mm准直器Thick800A测量面积达到直径0.4mm,EDX1800B测量面积达到直径0.5mm,CMI900测量面积达到0.3mm,而XTU-A面积可以达到0.218.


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