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真空设备检漏

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护*。

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氦质谱检漏技术在真空检漏领域里不仅能定位、定性、定量检漏,且具有操作简便、准确可靠、安全高xiao、成本较低、用途广泛等特点。采用这种检漏技术无论从小件到大件,从小系统到大系统检漏,从确定漏孔检漏到确定漏率检漏,都能准确快捷有效。随着氦质谱检漏技术的不断发展和成熟,未来将逐渐渗透到各个高低端行业领域,应用前景广阔,因此值得推广应用。



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检漏仪原理图中14 检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置,因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 帕 的工作要求,对于粗检两个位置都能够达到要求,但对于系统的小漏,吉林充气柜氦检漏厂家,位置的选择则相当关键,对于核级锆铸锭的生产来说,当漏率介于0.65~1.5帕/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于:该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏,当检漏口14的压强100 帕lt;Palt;1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开,氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室,充气柜氦检漏,因此只有当氦气分子较多时才能被检测到;当压强10 帕lt;Palt;100 Pa 时,检漏仪关闭V2,打开V3,V1 阀,此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中,可以检测到系统的中漏;当Pa lt;10帕 时,检漏仪关闭V3,打来V4、V1 阀,此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中,达到检测微漏的效果。

  由于在正常工作时机械泵进气口A 处的真空度受管道气密性及泵本身的抽空能力等因素的影响,通常真空度可能在20~200 Pa 的范围内,因此认为对于检测中漏来说,有可能导致检漏仪的V3 阀无法打开,吉林充气柜氦检漏商家,使得中漏的部分漏孔无法检测出来,这也是为什么在现场检漏过程中有时无法检测出漏点的主要原因。

  小罗茨泵进气口B 处实际上是机械泵与罗茨泵在联合抽空,真空度通常保证在10~30 Pa 范围内,能够保证检漏仪在中漏的范围内进行工作,即氦气从4 或15 处逆流进入质谱室中,保证检漏仪的稳定可靠工作。

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