真空系统集成、诺思真空(在线咨询)、湖南真空

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，真空系统集成，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，湖南真空，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。

基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以****薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，超高真空电子束蒸发，合适的温度能****薄膜的质量。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 这种泵具体可分为：

牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

国内企业之间的兼并和收购对于收购方、被收购方以及整个行业都是有利的，可以减弱或者避免过于激烈的价格竞争，****高真空，****企业的盈利能力并且通过****行业集中度****行业结构。

业内*介绍：我国真空设备行业对上下游企业进行并购重组，有利于企业取得原材料采购的优势和渠道建设的优势，从而实现竞争中的优势。上下游的并购需要更多的投入，因此主要是一些规模较大的企业在进行。