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激光干涉仪条纹判读

激光干涉仪成为众多光学冷加工厂商的梦想与追求，对激光干涉仪条纹的判断，直接关系到检测结果的正确性，所以这里的学习很重要。

1、调整干涉条纹，双频激光干涉仪测量，使被检区域出现3条到5条干涉条纹；

2、光圈的数目N，由通过直径的****1大弯曲量b与条纹间隔a的比值确定，即N=b/a;

3、局部光圈数目△N，由条纹的不规则程度C，与条纹间隔a的比值确定。

激光干涉仪调光步骤及技巧

垂直度测量

光学组件：光学直角尺一只、垂直转向镜一只、直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只、回射反射镜一只。

测量原理：沿着两条标称相互垂直的轴，利用一个共同的基准，分别进行直线度测量，从而测量其垂直度。通常，这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，在两次直线度测量期间，即不能移动（相对于工作台），也不能调整反射镜。这两次直线度测量，激光干涉仪测量，至少有一次是利用光学直角尺完成的。

光学器件安装：

垂直轴与水平轴之间的垂直度测量光路校准步骤（光线横向水平射出并返回）：

一号光靶位于垂直转向镜的入光侧，二号光靶位于回射反射镜上，黄山激光干涉仪，三号光靶位于光学直角尺入光侧中心刻度线处，请注意光靶小光孔的朝向。

1、右进左出，调节三角架，拉直激光，近、远端对正一号光靶。近端上下、左右调节，远端扭摆、俯仰调节。

2、将激光对准二号光靶，近端前后、左右位置调节，远端调节垂直转向镜的旋钮。

3、拆除一、二号光靶，调节激光头上下、左右位置，将激光对准三号光靶，调好近、远端。

4、安装直线度反射镜，在直线度反射镜的第二、四格分别安装好光靶，光靶上光孔的位置与光学直角尺的射出光线的位置相对应。

5、人工去除斜率误差。

A、由光学直角尺射出经直线度反射线返回的两条光线若不在同一法线上，需旋转主轴上安装在回射反射镜中的干涉镜进行调节。

b、消除斜率过程中，双频激光干涉定制，若大范围调节直线度反射镜旋钮都无法将斜率消除，可微调激光头的扭摆和俯仰（调光时，观察在光学直角尺与直线度反射镜上的光点是否中心对称）。