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电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容变化量的一种传感器。实际上,电容传感器本身(或和被测物》就是一个可变电容器。电容式传感器具有一系列突出的优点,如结构简单,体积小,适应性强,缺陷检查机,温度稳定性好,全自动电容缺陷检查机,动态响应好,可以实现非接触测量,其有平均效应等。







它采用CMOS工艺,工作电压为 5 V,测量灵敏度为,电感外观缺陷四面检查机,集成的补偿电容等参数均可以通过寄存器控制。其基本测量原理为:对被测电容与参考电容同时以相反时序充放电,通过电流积分、低通滤波、放大等将被测电容与参考电容差值转换为电压输出。MS3110内含一个60位的寄存器和100位的EEPROM。可通过单片机MSP430F149的I/0口对其EEFROM编程,或使MS3110工作在测试状态直接对寄存器进行编程。通过这些设置可对MS3110内部各个模块的参数进行确的调节。

MS3110原理框图如图2所示。MS3110主要由电容补偿电路、电荷积分电路、低通滤波器以及运算放大器组成。



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