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真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,磁控溅射设备,使之达到要求的真空度。

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影响凝汽器****有利真空的主要因素是:进入凝汽器的蒸汽流量、汽轮机排汽压力、冷却水的进口温度、循环水量、汽轮机的出力变化及循环水泵的耗电量变化等。实际运行中则是根据凝汽量及冷却水进口温度来选用****有利真空下的冷却水量,磁控溅射厂家,也即是合理调度使用循环水泵的容量和台数。



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