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真空泵装置七大注意事项

1、常常查看油质状况，发现油蜕变状况要及时替换新油，5.5千瓦抽吸泵，保证真空泵作业正常。换油周期：一次在运转100小时后然后每500至2000运转小时，****少每半年一次或在过高吸收水份的状况下。　　2、真空泵对光滑油的质量有严厉的需求，切勿私行运用其他真空泵油代替，1.1千瓦抽吸泵，否则会形成真空泵损坏。光滑油牌号为：壳牌(Shell)M100。

真空系统启动时，要先用机械泵将系统抽至低真空，再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器

电源，待油停止沸腾后再关冷凝水，再关闭扩散泵前后两个活塞，接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱，和田抽吸泵，以免有机

物、水汽等杂质进入机械泵，影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。

真空泵的选用

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的****限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的

工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为

5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在

10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。