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真空泵真空的获得方法

真空的获得是真空技术的主要组成部分,借助于多种方法,可在被抽容器中获得一定的真空度.目前可获得的真空度范围相当宽,从100kPa到10-11Pa,就电光源工业来说,也要从100kPa到10-4Pa。

因此,应按照不同的真空度要求和使用情况选择不同的手段获得真空.现有获得真空的手段大致可分为下述三类:真空泵(如机械泵、扩散泵等)、吸气剂(钡铝、钛、ZrAl16等)和蒸气捕集器(冷阱、干燥器等)。在电光源工业中,获得真空的主要手段是依靠机械真空泵和蒸气流扩散真空泵。



真空泵的装配装置


装油试抽测:将合季节的、粘度合适的真空泵加入泵内,略超过油窗中心线一点,同时用手盘皮带轮转儿圈,使油部分地进入泵腔密封缝隙,然后在泵进气口插上带真空夹的橡皮管,另一端插入热偶规管,将泵固定于底板上后,试好电机正反转,上好皮带试抽,判断有无不正常现象。十多分钟后停泵半小时(夹上真空夹或关闭阀门)让油进一步浸入泵中各密封缝隙,如此重复两次,即可打开真空夹将泵抽至****限真空,并定时记录真空计指示的读数。按正常使用将泵连续运转两天,无异常,爱德华真空泵RV5,即可鉴定交付生产单位验收。在运转测试过程中,爱德华E2M18真空泵,应画出几组p-t曲线并注意将已修泵编号记录备案。

此外,对端盖板与泵腔间的配合面没有橡皮垫圈的那类泵,应按配合精度尺寸进行研磨,****l好使之达到光学密合后装配。在泵体外壳密封处****l好涂2-3遍虫胶漆溶液,加强密封。待干燥后再试抽测。其他整体式结构的泵,其组装方法与此相仿。



漏油

真空泵维修中漏油****常见故障之一,主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上,其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化,密封失效,从而导致漏油。油窗漏油,是因为真空泵使用时间过长而使油窗老化,引起*裂,爱德华真空泵RV3,或油窗与油箱的粘合剂老化失效,从而导致泵油渗出;电机轴上有前油封和后油封两个油封,任何一个老化失效都回引起漏油;油箱通过适配器与电机相连,油箱与适配器的结合处有一个密封圈,起到油箱的密封作用,广东爱德华,如果它老化同样可以引起真空泵漏油。另外,在适配器上还有一个毛毡垫,它起回收泵油的作用,如果它吸油已满,真空泵也会发生渗油。

真空泵维修解决漏油的办法是更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫。维修完成后,注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵,并用溶剂清洗注油口处的滤网,保持油箱的清洁。



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