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万级无尘室

隔间分为三大部分，更衣室，千级区和百级区，更衣室与千级区， 千级区和百级区均设风淋室(airshower)， 无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入无尘室时，首先要经过风淋室，对*所带的灰尘吹淋，减少人员带入无尘室的灰尘. 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋，达到落尘的效果.

层流式无尘车间：

　　 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：

　　(1)无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

　　(2)无尘车间垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。