电子显微镜隔振系统|*OS主动隔振|隔振系统

*OS MD系列主动隔振系统SEM﹨TEM电镜隔振？

主动和被动两种隔离机制同时工作，SEM隔振系统，产生****X优隔振效果

****探测传入的振动并主动地消除振动

无低频共振

在空间6个自由度都有优X秀的宽频谱衰减能力

高刚性设计

高度匹配SEM/ TEM电镜系统

小型化，适用于个性化要求

模块可扩展

超薄设计，高度约70mm

安装简单

外部振动对电子显微镜的影响及处理？

振动（Vibration），特别是20Hz以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜）的干扰影响很大。*OS主动隔振系统提供了针对0.5-100HZ范围的振动的主动隔振、吸振解决方案。各个电镜厂家，如中国的科仪（KYKY）、美国的FEI（无中文翻译）、德国的蔡司（Zeiss）以及日本的日本电子（Jeol）、日立（Hitachi）、岛津（Shimadzu）等，对于自己不同系列、不同型号的产品都分别设有不同的振动标准。需要说明的是，隔振系统，一般的振动超标只是影响电镜实验（特别是高倍数实验）的结果，电子显微镜隔振系统，除非是****为强烈的振动（例如强烈*等），超过标准的震动一般不会对电镜本身造成设备损坏。如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到****X佳设计标准。

*OS AR系列主动隔振系统在半导体领域的应用？

*OS系列隔振系统在半导体领域可以给用户带来哪些效益呢？*OS 系列主动隔振系统具有专利的结构设计，具有六自由度的主动振动隔离功能，这些功能能够帮助：

1、增加机器的吞吐量

2、改进了工具的性能和图像成像质量。

3、降低生产过程中的不良品率

4、易于集成到工具和工作站环境中实现整体的控制