匀胶机旋涂仪WH-SC-01
第一枪帮您来“拼单”,更多低价等你来!匀胶机旋涂仪WH-SC-01
- 名称苏州汶颢微流控技术股份有限公司 【公司网站】
- 所在地中国 江苏 苏州 吴中区
- 联系人 易工
- 价格 ¥10元/件 点此议价
- 采购量 1件
- 发布日期 2018-07-18 13:18 至 长期有效
匀胶机旋涂仪WH-SC-01产品详情
- 品牌:其他
- 加工定制:是
- 型号:WH-SC-01 2018
- 外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D)
1.台式匀胶机旋涂仪产品简介
WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司*开发完成,具有*知识产权。
匀胶机快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶,之后切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;实现启停可控,转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮,当进行高速运转时,关上上盖后,“安全开关”启动,运行过程中,上盖不能打开。可以起到保护作用。
2.台式匀胶机旋涂仪技术参数
² 转速:300-4500RPM
² 时间控制:1--32767s
² 转速稳定性:±1%
² 胶的均匀性:±3%
² 参数设定:触摸屏设置参数
² 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶
² 电源输入:AC220V±10V,50HZ
² 功率:60W
² 重量:13kg
² 外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D)
² 工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80%
3.台式匀胶机旋涂仪特征图解
①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④*吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关
4.台式匀胶机旋涂仪操作说明
(1)选择合适的*吸附盘(略小于样本尺寸),将缺口对准螺钉安装,吸附盘安装时一定要插入到底。
(2)开启电源,进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间,按工艺设置好转速和时间,点击“确定”。
(3)进入启动仪器界面,放片,要注意放正。打开真空泵,点击“吸盘”后点“启动”,仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。
(4)滴胶,动作要快。在****阶段运转时间内滴胶完毕,关上上盖;随时间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后,安全开关启动,必须等到仪器停止运行,上盖才能被打开。
(5)电机停转后,点击脱盘,吸片停止。打开上盖,取下片子。
(6)继续匀胶时重复以上步骤。
(8)匀胶结束后,关上上盖,切断电源。
5.台式匀胶机旋涂仪维护清洗
属下列情况之一时,需要对抽气室进行清洗
1.正常使用半个月的;
2.胶被吸入抽气室的;
3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。
6.台式匀胶机旋涂仪常见故障排除
下列故障非本机故障,用户可参考自行解决,若仍不能排除故障,请及时拨打本公司服务热线:0512-62525801,本公司将竭诚为广大用户服务。
故障现象 |
原因 |
排除 |
电机不转 |
1.电源线没插好 |
插好电源线 |
2.保险管熔断 |
换用同规格新的保险管 |
|
硅片没吸住 |
1.吸气管未插 |
插好吸气管 |
2.真空泵没开 |
打开真空泵 |
台式匀胶机旋涂仪安全注意事项
拆开包装后,请按照装箱单详细检查配件,如有缺失,请联系销售商。注意必须将所有包装和泡沫垫卸下,否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。
操作前请详细阅读本说明全部内容,并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失,制造商将不予承担。
(1) 安置本仪器的桌(台)面应坚实平整,四只橡胶脚垫应与桌(台)面平稳接触,否则会产生仪器不平稳,从而导致超标准的震动,致使器件损伤或仪器停止运行。
(2) 仪器工作时,操作人员不得倚靠在仪器上,非工作人员不得在非安全空间内逗留,匀胶机周围不得放置危险物品。
(3) 所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室,导致气路堵塞。
(4) 如果不慎胶被吸入了抽气室,要立刻进行清洗,否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。
(5) 气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片,故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。
(6) 仪器出现故障应及时与销售商或厂家联系,切勿自行打开机壳。严禁非****人员维修,维修时必须先拔下电源插头,****事故发生。
台式匀胶机旋涂仪装箱清单:
名称 |
单位 |
数量 |
匀胶机机体 |
台 |
1 |
电源线 |
份 |
1 |
*吸附盘4寸 |
个 |
标配 |
*吸附盘1寸、2寸、3寸、5寸 |
个 |
选配 |
无油真空泵 |
个 |
选配 |
使用手册 |
份 |
1 |
质检报告 |
份 |
1 |
合格证 |
份 |
1 |
保修卡 |
份 |
1 |
无油真空泵:又称干式真空泵,是泵的工作腔内没有任何介质,可以原汁原 味的回收气体。
该公司其他产品
-
15通道正压恒压泵可编程*
¥10.0元/件 -
离心进样仪 WH-CM-02
¥10.0元/件 -
WH-TC-01 多功能温控仪
¥10.0元/件 -
12通道正负压恒压泵
¥10.0元/件 -
WH-2000A 真空热压键合机
¥10.0元/件
江湖通产品
- 显微镜制冷相机 ¥20000.0元/件