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电子束蒸发使用安全规范?

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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1、?实验前确认事项? A、开启液氮；? B、冷却机水箱是否具有足够的水。?2、?装样? A、?拧开样品台上的四个螺母，断开冷却水管，取出样品台；?B、?使用乙醇擦拭样品台与腔体的接口；?C、?装样；? D、?把样品台放入腔体，拧紧样品台的螺母，接上冷却水管。?3、?开机，抽真空? A、打开总电源，开启冷却水机；? B、打开电脑操作软件，启动分子泵以及机械泵。?4、?除气? A、?待腔体内气压低于10-3pa（时间允许情况下真空度尽量 低）；? B、?打开面板电源；?C、?HV降至0V；? D、?CoM设置为Filament?Current;?E、?Pocket?1设置为Enable；? F、?逐渐****Filament?Current至1A，注意不要使真空度降低 过快；? G、?将Filament?Current降至0，关闭Pocket?1。? 5、?镀膜? A、?HV升高至2?kV；? B、?CoM设置为HV?power；? C、?逐渐****其中HV?power（视工艺参数而定），同时注意不要使 真空度降低过快；? D、?打开蒸发源挡板，稳定5分钟；? E、?打开样品台挡板，正式镀膜，记录镀膜开始时间；?F、?关挡板，记录结束镀膜时间，降低HV?power至0?w，然 后降低HV至0?V（注意降低的顺序不可颠倒）；?G、?冷却30分钟。?6、?取样? A、?关闭分子泵以及机械泵，关闭冷却水机；? B、?待分子泵转速低于2000rpm，若电磁阀为自动开启需手动 开启，实验室电子束蒸镀机多少钱，拧开样品台螺母，通入氮气至样品台可取出（勿正对玻璃观察窗）；? C、?断开冷凝水管，取出样品台，实验室电子束蒸镀机，取样；?D、?将样品台放入腔体，接上冷凝水管。?7、?关机? A、?关闭总电源；? B、?关闭计算机（勿忘记关闭电磁阀）

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什么东西可以用到蒸发镀膜材料

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电子束蒸发镀：利用电子束加热使膜材汽化蒸发后，凝结在基片表面成膜是真空蒸镀技术中一种重要的加热方法。这种装置的种类很多。随着薄膜技术的广泛应用，不但对膜的种类要求繁多，而且对膜的质量要求更加严格。电阻蒸发镀已不能满足蒸镀某些金属和非金属的需要。电子束热源能获得远比电阻热源更大的能量密度，数值可达到104-109w/cm2，实验室电子束蒸镀机品牌，因此可以将膜材加热至3000-6000c。这就为蒸发难熔金属和非金属材料如钨、钼、锗、SiO2、AI2O3等提供了较好的热源。而且由于被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内，因而可避免容器材料的蒸发及容器材料与膜材之间的反应，这对****膜的纯度是****为重要的。另外，热量可直接加到膜材表面上，因此热*，热传导和热辐射损失少。

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