北京电子束蒸发镀膜机|泰科诺科技|北京电子束蒸发镀膜机厂

电子束蒸发镀膜机原理

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，北京电子束蒸发镀膜机厂，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

北京电子束蒸发镀膜机

原理：在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，北京电子束蒸发镀膜机价格，被加速阳****加速，获得很大的动能轰击到的蒸发材料上，把动能转化成热使蒸发材料加热气化，而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴****、电子加速****和作为阳****的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中，使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率，特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。

技术指标：

可在高真空下蒸发不同厚度的各种金属与氧化物薄膜，广泛应用于物理，生*学，材料，电子等领域。

蒸镀薄膜种类：Au， Ti， Cr， Ag， Al， Cu， FeNi， AuGe， Pt， Pb， In，北京电子束蒸发镀膜机公司， Mo， SiO2等

****限真空：5E-8 Torr（ 30分钟从 atm 抽到 5E-6 Torr ）

薄膜均匀性：±4% （ 4英寸 ）

装片：小于6英寸的任意规格的样品若干

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电子束镀膜属于蒸镀还是溅射？

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理的气相沉积（PVD）的工艺方法。

2.蒸发镀主要包括：电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。

3.您所说的E型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。

4.S枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶，阴****靶材为环状锥形，安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场，北京电子束蒸发镀膜机，其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动，电子流密度很大，在靶面附近产生很强的非弹性碰撞，电离几率很大，形成很强的等离子体。

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