超高真空电子束蒸发、廊坊真空、诺思【好品质】(查看)

众所周，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，真空薄膜，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的****限真空下降，*了泵的抽气性能。 工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合，而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。

对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:

基片材料与靶材的晶格匹配程度，廊坊真空，基片表面温度，蒸发功率，速率，真空度，镀膜时间，厚度大小。

组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

真空炉开炉前，真空材料处理，保证水、电、气在作业状况。电压在380V，不得有10%的偏差。气压在0.6Mpa，水压到达低值(0.5MPa)。到达上述需求后才能够通电，超高真空电子束蒸发，进行操作。

放料前，查看设备加热室，加热室有必要洁净，不得有杂物、尘埃、油污、水等。在查看所放得商品，相同干燥清洗，无水渍、油污等在放料前需清洗洁净。

装料后，把旋钮打到“门关”方位。然后，发动“机械泵”和“粗抽阀”。对真空机组和炉膛抽气，一同翻开真空炉电源(一般状况真空计电源随总电源一同发动)。