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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】

真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板

注：①-④-⑦由需方人员自行完成。

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系统工作气路示意图如下图所示：

真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空泵组：真空泵组是系统检漏需具备的必要条件，是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组，主抽罗茨泵采用罗茨泵，真空箱式氦检漏系统价格，性能稳定可靠，在高真空下抽速更快，检漏系统配制采用机械泵为前级泵。

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真空箱式氦检漏系统【*书】

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七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40W日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。桔纹手感不明显。不得有流痕，真空箱式氦检漏系统多少钱，*、麻坑、*、缩孔、颜料*等缺陷，真空箱式氦检漏系统价钱，厚度50-80μm。操作台抽屉进出顺滑、平稳。依据以上作为验收标准。

八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）

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