等离子_捷纳特精密科技_等离子清洗器

等离子清洗机技术性能：

舱体尺寸:275X110（直径）mm;

舱体容积: 2.6L;

射频频率: 40KHz;

射频功率:10-200W无****可调;

电 源:220V 50/60HZ

电 流:1.2A;

时间设定:0-99分59秒;

气体稳定时间: 1分钟;

真空度:100pa以内;

等离子激发方式:电容式

外形尺寸:L*W*H500*460*240MM

整机重量:15Kg

等离子体清洗机理

等离子体技术在本世纪60年代起就开始应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域，等离子清洗器，在大规模或超大规模集成电路工艺干法化、低温化方面，等离子，近年来也开发应用了等离子体聚合、等离子体蚀刻、等离子体灰化及等离子体阳****氧化等全干法工艺技术。等离子清洗技术也是工艺干法化的进步成果之一。

与湿法清洗不同，等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看，等离子发生器，可能等离子体清洗也是所有清洗方法中****为*的剥离式的清洗。

等离子体所与核工业二三建设公司签署战略合作协议

　　11月24日上午，中科院等离子体所与中国核工业二三建设有限公司签署战略合作协议。等离子体所所长万宝年与中国核工业二三建设有限公司董事长、党委*徐永强代表双方签字。

　　中国核工业二三建设有限公司副总经理范凯，等离子清洗机，国际事业部总经理冯满军、总工程师张伟栋，等离子体所党委*张晓东、副所长吴新潮、所长助理赵君煜及相关部门负责人等出席签约仪式，中国国际核聚变能源计划执行中心房同珍处长见证全过程。