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金属靶材相对密度是以什么标准换算的

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作，为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

比重（specific gr*ity）是相对密度（relative density）的旧称。相对密度定义为：某物质的密度与参考物质的密度之比。金属靶材通常是合金靶材才会用到相对密度，相对密度高代表含量高。 实际值除以理论值就是了。

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溅射靶材

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靶材选择规程

分类：1.薄膜应用分类[1]:半导体功能（HfO2）、磁记录、巨磁电阻（稀土合金或氧化物类）、显示技术（ITO）、超导（Y2BaCu3O7）；2.材料组成：金属（合金）、氧化物类（Al2O3、SiO、SiO2、TiO2、Ti2O3、ZrO2等）、氟化物类（MgF2、BaF2、YF3、Na3AlF6等）、其它化合物类（ZnS、ZnSe、PbTe等）。

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金属靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作，为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

溅射靶材使用指南及注意事项

靶材预溅射

靶材预溅射建议采用纯*气进行溅射，可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率，陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材块，一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。

在进行预溅射的同时需要检查靶材起弧状况，天津锡靶，预溅射时间一般为10分钟左右。如没有起弧现象，锡靶厂家，继续提升溅射功率到设定功率。根据经验，金属靶材可承受的溅射功率为25watts/平方厘米，陶瓷靶材为10watts/平方厘米。请同时参考用户系统操作手册中关于溅射时真空腔体压力的设定根据经验，一般应确保冷却水出水口的水温应低于35摄氏度，但****重要的是确保冷却水的循环系统能有效工作，通过冷却水的快速循环带走热量，是确保能以较高功率连续溅射的一项重要保障。对于金属靶材一般建议冷却水流量为20LPM水压在5GMP左右；对于陶瓷靶材一般建议水流量在30LPM水压在9GMP左右。

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