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化学气相蒸镀的优点

大于99.9%之高密度镀层,有良好的真空密封性 2) 高纯度 3) 高强度-与晶体结构,大小,纯度,南京蒸镀,密度,蒸镀设备,内应力有关 4) 可在相当低的温度下镀上高熔点材料镀层 5) 良好的抛镀力 6) 可控制晶粒大小与微结构 7) 可制作微粒子...

什么是真空蒸镀

金属薄膜工艺什么是真空蒸镀金属薄膜是在真空条件下,将金属蒸镀在薄膜基材的表面形成复合覆膜的一种工艺。被镀金属可是金、银、铜、锌、铝等,其中****常用的是铝,在塑料薄膜或纸张的表面镀上一层****薄的金属铝,广泛的用于代替铝箔复合材料使用。 ...



真空蒸镀

一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,真空蒸镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glow discharge)将(Ar)离子撞击靶材(target)表面,电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电****表面,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。

一般来说,利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点:

(1)金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料。



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