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该工艺用于太阳能电池片生产制造过程中，通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟酸，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中，POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子，

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使用不止一组切割切割线是在保持速度的前提下****机台产量的一个*方法。应用材料公司****的MaxEdge 系统采用了*的两组*控制的切割组件。MaxEdge是业界一个专门设计使用细切割线的线锯系统 ，****可达到80μm。相对于业界先的应用材料公司HCT B5线锯系统，这些改进减少了硅料损失使产量****多达50%。

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硅片厚度也是影响生产力的一个因素，因为它关系到每个硅块所生产出的硅片数量。超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战，库存光伏组件回收，因为其生产过程要困难得多。除了硅片的机械脆性以外，如果线锯工艺没有精密控制，细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生面影响。超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力、以及切割冷却液进行精密控制。

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