海扬真空、旋片式真空泵 2x4a、平湖旋片式真空泵

2x旋片真空泵

泵固定座弹簧的选择：

一般减振器厂家选用弹簧需满足以下要求：弹簧直径应不少于其在额定负载下高度的0.8倍;弹簧须具备一定的额外行程，涡街流量计至少等于额定静挠度的50%;弹簧的水平刚度至少是坚直钢度的100%，以保证减振器的稳定性。

弹簧减振器挠度的选择;

通常减振器厂商所提拱的弹簧减振器额定挠度(弹簧额定压缩量)一般为25MM(自频率值约3-4HZ)，此挠度可应于650转每分钟的真空泵的隔振。当转速低于650时，建议使用40以下挠度之弹簧隔振器。

2x旋片真空泵

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的****限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。